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化工行業中的超純水設備主要應用于電池行業溶劑用水、化學分析、化工材料、產品清洗、物質的分離、濃縮、提純，廢物回收等場合，對于水質要求相對來說不是太高，純水電導率從0.1uS/cm-20uS/cm**基本上能滿足要求。化工行業用超純水設備一般采用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水經濟方式，化工行業用超純水設備也是目前Z環保的超純水制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，化工行業用超純水設備對環境沒什么破壞性。

設備優點
1、出水水質具有z佳的穩定度。
2、能連續生產出符合用戶要求的超純水。
3、模塊化生產，并可實現PLC全自動控制。
4、不需酸堿再生，無污水排放。
5、不會因再生而停機。
工藝
1、采用離子交換方式：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點
2、采用二級反滲透方式：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節→中間水箱→二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
3、采用EDI方式：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點
應用領域輯
(1)電子工業：半導體工業超純水、集成電路清洗用水制備;
(2)電力工業：鍋爐補給水制備;
(3)制藥行業：醫用純化水的制備;
(4)化學工業：溶液的脫鹽提純;
(5)實驗室：分析用超純水的制備。